半導体研磨装置の
刀根自動機株式会社
TEL 06-6931-8571
FAX 06-6934-8673
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世界20カ国、国内150社、38年間で1400台余りの装置を製造してまいりました。
培ってきた高度な技術と確かな品質で、 自動化・省力化の理想を追求致します。
二次電池、電気･電子、半導体、液晶、太陽電池、自動車、医療、食品、等、分野を問わず、挑戦し続けます。
オーダーメイド、特殊仕様の研磨装置を治具から全自動機まで低価格 短納期 高品質でご提案いたします。
お客様の希望を形にします。提案力に自信があります。まずはご相談下さい。
■半導体ウェーハの研磨装置です。
■高品位研磨テープによる低Raの実現
■様々なプロセスに対応
[Cvd Film Removal]
[After Bevling]
[After Lapping]
[Reclaiming]
■膜質を選ばない研磨が可能
EPI（酸化膜、ポリ膜、LTO膜）チタン、タングステン、メタルなど
■スラリー負荷の軽減
■100％ケミカルフリー
水だけで研磨が可能、
排水処理の心配なし
■クリーンルーム クラス1000対応
局所排気、集中排気システムを取り付ける事でクリーンルームでの使用が可能
■8~12インチウェーハに対応
その他の研磨機･研磨装置はこちら
掲載しきれない装置も多数ございます。あらゆる装置に機械設計、電気設計、シーケンス制御、制御盤の設計製作、機械加工･金属加工、機械組立、据付まで対応させて頂きます。
まずはご相談下さい。 TEL06-6931-8571 FAX06-6934-8673 info-j@tone-jidoki.co.jp 営業まで。
無料で自動化、省力化のご提案、コンサルタントさせて頂きます。 お問い合わせはこちら
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